为了降低生产难度,乔瑞达拿出了一款比较简单的7nm工艺三代内存芯片掩膜版,装进EUV光刻机,进行生产测试。这种内存芯片,加工过程即不需要套刻,也不需要二次暴光,结构也非常的简单,算是最好的测试样品了。第一批100片12寸硅晶圆放上传送带,清洗、干燥、气相沉积底膜、旋涂光刻胶、对准与曝光、烘焙、显影……一个步骤又一个步骤的走下来,时间不知不觉间过去。
第一天投料,第二天中午的时候,加工完的晶圆才走下生产线。然后乔瑞达等人,亲自动手,将这100片带着美丽彩色花纹的晶圆,装进专用密封盒子,然后带去隔壁的芯片测试车间,进行全面的检测。
又是半个小时后,乔瑞达一脸关切的向测试人员询问道:“怎么样,芯片合格率高吗?”
这位刚刚从大学毕业的芯片检测员小姑娘,被几十位穿着白大褂的公司高层围着,还颇有几分手足无措。好在芯片的检测过程是全自动的,需要她参与的步骤并不多。小姑娘查看了一下电脑屏幕上的统计数据,向乔瑞达汇报道:“到目前为止,一共检测了32片晶圆,6400枚芯片,全部不合格。”
听到这个检测结果,众人纷纷摇头叹息,包括乔瑞达、王院士、周万达等人也不例外。从安装设备,调试设备,到现在的试生产,众人在这条芯片生产线上,已经忙碌了半个多月,那么多的金钱,那么多的精力投入下去,最终换来一个全军覆没的结果,着实让人难以接受。
“不是吧,这么先进的设备,只是用来生产最简单的内存芯片,怎么会失败呢,会不会掩膜版本身就存在缺陷?”
“谁说内存芯片就简单了,我看过乔总提供的图纸,现在测试生产的这枚内存芯片,是拥有自主知识产权的三代DDR内存,这在国内,尚属首创。”
“这枚内存芯片,技术很先进,我承认,但是它的结构确实非常的简单,比那些手机SOC,电脑CPU,GPU什么的,简单了不要太多。咱们得生产线也设置的很合理,原材料和生产流程上也没有问题,没道理生产测试下来,一枚合格芯片都没有呀!”
“或许是工人对新的生产线不熟悉,操作过程中有失误吧。毕竟他们以前操作的都是使用DUV光刻机的28nm生产线,和这条使用EUV光刻机的7nm芯片生产线,差距还是有些大的。”
“说的有道理,操作不当确实有可能影响最终的芯片良品率。整个芯片生产流程有着几百个步骤,任何一个节点上出了问题,都会影响最后的良品率。”
“在我看来,芯片合格率为零也没什么奇怪的,这毕竟是一条全新的芯片生产线,新设备,新工艺,再加上一帮刚刚完成培训的操作工人,这么多不利因素叠加在一起,生产出来的芯片全军覆没,不是很正常吗。”
“说的也是,这次生产测试失败了也没什么,只要咱们能找出问题出现在哪里,然后在后续的测试中更正它就好。”
就在众人议论纷纷的时候,芯片测试员小姑娘,发出了一声惊呼,吸引了所有人的注意,“呀,终于检测到了一枚合格的芯片!”
“真的吗,快让我看看,第47号晶圆,编号145芯片,检测合格!这真是太好了,终于有一枚合格的芯片了。”
“这至少证明了,乔总提供的掩膜版没问题,是可以生产出合格内存芯片的。”
“赶紧把那枚合格的芯片剪裁下来,进行封装测试。7nm工艺生产的DDR3内存,我还没见过呢,相信在功耗、发热和超频性能上,会有着非常优秀的表现。”
有了这个好的开头,后面的晶圆上,又陆续检测出了几十枚合格的芯片。一众工程师将这些合格的芯片剪裁下来,而后封装,加工成了几根8G大小的DDR3内存条。乔瑞达将这几根内存条,装到几台不同品牌,不同配置的电脑上,进行了一番详细测试。测试结果表明,这些瑞芯晶圆厂自产的内存,兼容性良好,发热量很低,超频性能极其优秀,即使跑到2133MHZ的超高频率上,也非常的稳定。
乔瑞达将内存测试报告打印出来,分给王院士、周教授等人一人一份,“这是测试报告,大家都看一下吧。”
“从这份报告来看,咱们这款内存产品,性能非常的优秀呀。这要是批量生产出来,推向市场,一定会成为超频玩家的最爱。”
“自主知识产权,自主生产,国产DDR3内存,咱们这也算是填补国内空白了吧?”
“当然算,不过用这么先进的EUV光刻机,来生产内存芯片,还是有些大材小用了。就目前这个低到可怜的合格率,怕是连生产成本都赚不回来,生产多少就亏多少。”
“咱们才刚刚测试生产,芯片良品率低一些很正常。随着设备调整越来越到位,工艺流程越来越成熟,工人熟练度越来越高,良品率总会提上去的。”
“其实这款内存芯片,设计的非常优秀,即使放到那些28NM生产线上去生产,最后的成品芯片,性能也不会太差。”
“咱们瑞芯晶圆厂,一次性安装了十几条芯片生产线,产能十分的巨大。先前我还在为去哪里找活而发愁,现在乔总拿出了这款内存芯片,我就彻底不担心了。现在市场上内存芯片的需求量实在是太大了,电脑上要用,手机上要用,机顶盒上要用,车机上也要用。即使咱们瑞芯晶圆厂所有的产能都用来生产内存芯片,也不愁卖。”
“那倒是不至于,别忘了瑞达科技公司还给咱们提供了一份手机SOC芯片的生产订单,那可是足足五百万枚,足够咱们生产好长时间了。”
“这条使用EUV光刻机的生产线,实在是太先进了,加工精度7nm起步,很多EDA软件都没做到这个精度。怕是在未来很长一段时间,这条生产线都接不到多少外来订单。”
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